温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种单片硅麦克风，一个单片硅麦克风包括一个第一背板，一个第二背板以及位于第一背板和第二背板间的隔板；第一背板由一个带多穿孔的硅基板支撑。第二背板系在一个穿孔板上，穿孔板支撑在硅基板的上方。单片硅麦克风有集成的信号调节电路。信号调节...
该专利属于美国通用微机电系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国通用微机电系统公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。