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本实用新型公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构，包括第一测试单元、第二测试单元、第三测试单元和绝缘衬底，所述第一测试单元、第二测试单元和第三测试单元设置在绝缘衬底上；对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得到的相关电阻值代入计...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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