下载一种多晶硅TFT阵列基板的制造方法的技术资料

文档序号:7719006

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及液晶显示器制备领域,提供了一种多晶硅TFT阵列基板的制造方法,通过一道HTM或GTM掩膜工艺,完成了栅电极、多晶硅半导体和像素电极部分的构图处理。较现有技术中,先进行一次构图工艺处理得到多晶硅半导体部分,再进行一次构图工艺处理得到...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。