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本发明涉及液晶显示器制备领域,提供了一种多晶硅TFT阵列基板的制造方法,通过一道HTM或GTM掩膜工艺,完成了栅电极、多晶硅半导体和像素电极部分的构图处理。较现有技术中,先进行一次构图工艺处理得到多晶硅半导体部分,再进行一次构图工艺处理得到...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及液晶显示器制备领域,提供了一种多晶硅TFT阵列基板的制造方法,通过一道HTM或GTM掩膜工艺,完成了栅电极、多晶硅半导体和像素电极部分的构图处理。较现有技术中,先进行一次构图工艺处理得到多晶硅半导体部分,再进行一次构图工艺处理得到...