下载吸附装置、贴合治具及贴合方法的技术资料

文档序号:7702579

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本发明提供一种吸附装置、贴合治具及贴合方法。吸附装置包含吸附板、浮升块及抽气模块。吸附板包含至少一吸附孔、泄气孔及贯穿吸附板的通孔。吸附孔位于吸附板的第一侧。泄气孔位于吸附板相对于第一侧的第二侧。吸附孔与泄气孔相连通。浮升块包含盖合部及滑动...
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