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本发明公开一种电磁致动器、平台设备以及光刻设备。所述电磁致动器包括：第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件相对于彼此是可移位的并且布置成提供磁路；和线圈，配置成在使用中接收电流以产生通过所述磁路的磁通量，由此在第一磁性构...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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