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一种四自由度微机械陀螺制造技术
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下载一种四自由度微机械陀螺的技术资料
文档序号:7699507
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本发明提供的是一种四自由度微机械陀螺。由驱动静梳齿、驱动动梳齿、驱动质量块、解耦框架构成的驱动模态和由敏感静梳齿、敏感动梳齿、检测质量块、敏感质量块构成的敏感单元均为完全的2-DOF振动结构。驱动质量块通过两个工形梁与四个锚点相连来限制其在...
该专利属于哈尔滨工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。
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