下载一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极的技术资料

文档序号:7691007

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本实用新型涉及一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极,包括电极、加热器、螺栓、电极外的石墨护套,所述的电极与石墨护套之间增设了一层电极保温层,由于电极与石墨护套之间固定设有电极保温层,增加了晶体炉内与电极之间的热阻,从而降低了功耗,其节能效果...
该专利属于镇江环太硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江环太硅科技有限公司授权不得商用。

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