专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
镇江环太硅科技有限公司
>
一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极制造技术
>技术资料下载
下载一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极的技术资料
文档序号:7691007
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极,包括电极、加热器、螺栓、电极外的石墨护套,所述的电极与石墨护套之间增设了一层电极保温层,由于电极与石墨护套之间固定设有电极保温层,增加了晶体炉内与电极之间的热阻,从而降低了功耗,其节能效果...
该专利属于镇江环太硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江环太硅科技有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。