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公开了一种用于通过测量RF驱动等离子体中的RF电压信号补偿晶片的偏压电压的方法和装置，其包括至少静电卡盘（ESC），电容分压器，信号处理和信号调整网络。该偏压补偿装置包括监测在ESC处的RF电压的电容分压器、滤波相关的具体的RF信号的信号调...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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