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本发明提供一种带辅助线条的双吸收层衰减相移掩模衍射场的计算方法，具体步骤为：步骤一、设定电磁场展开时的空间谐波数n，并确定光栅坐标；步骤二、将包含辅助线条的光栅层介电常数进行Fourier级数展开；其中对TM偏振光，通过对介电常数倒数进行F...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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