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波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置制造方法及图纸
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文档序号:7613165
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本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板;与第一基板相对的第二基板;在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜;设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜;以及在第一基板的与第二基板...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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