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本发明是对半导体芯片制造过程中扩散工序所用的石英舟或碳化硅舟传递及存放装置所做的改进，它包括托面、托底、石英柱，在所述托底与托面中间设置隔热面。本发明提供的石英舟托结构设计合理、实用性能强，本舟托所运用的材质为均质石英，便于清洗，减少这一环...
该专利属于宜兴市环洲微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宜兴市环洲微电子有限公司授权不得商用。

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