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本发明实施例公开了一种回收图形化蓝宝石衬底的方法，属于光电技术领域。所述方法包括：采用感应耦合等离子体干法刻蚀去除所述图形化蓝宝石衬底上的外延层；采用湿法腐蚀对去除所述外延层后的所述图形化蓝宝石衬底进行腐蚀。本发明实施例通过ICP干法刻蚀去...
该专利属于华灿光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华灿光电股份有限公司授权不得商用。

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