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在催化CVD装置(100)中，保持体300)具有用于防止从催化剂丝(11)所放出的辐射线向基材(200)侧反射的防反射结构。...
该专利属于三洋电机株式会社;株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过三洋电机株式会社;株式会社爱发科授权不得商用。

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