下载用于基于氮化镓或其它氮化物的功率装置的含有锗的低欧姆触点的技术资料

文档序号:7570425

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本发明涉及一种设备,其包括衬底(120)、所述衬底上的III族氮化物层(102、104、106)及所述III族氮化物层上的电触点(108a、108b)。所述电触点包括具有多个导电材料层(110到116)的堆叠,且所述堆叠中的所述层中的至少一...
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