下载将原子层沉积涂层涂覆到多孔非陶瓷基底上的方法的技术资料

文档序号:7569403

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本发明公开了一种将保角涂层沉积在多孔非陶瓷基底上的方法,所述方法需要反应性气体流动经过所述基底从而在其后留下保角涂层。所述方法可用于在所述基底的内孔上留下亲水表面,即使当所述基底是天然疏水性的,例如烯属的材料。所述方法可用于卷对卷法方法中,...
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