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超声波作用下真空蒸发气相沉积生长多晶碘化汞厚膜的方法技术
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文档序号:7564236
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本发明涉及一种利用磁力搅拌激励的垂直沉积技术生长多晶碘化汞薄膜,生长出来的多晶碘化汞薄膜作为晶种层,通过超声波作用下真空蒸发物理气相沉积法在晶种层上沉积生长高质量多晶碘化汞厚膜的制备方法。生长出来的多晶碘化汞厚膜特别适合于X射线、Gama射...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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