下载一种晶块筛的技术资料

文档序号:7529741

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本实用新型涉及半导体加工技术领域的工具,特别是一种晶块筛,包括筛体,所述的筛体具有盛放晶块的凹槽,所述的凹槽的底面是一侧高、另一侧低的结构,较好的技术效果是:高一侧的深度是晶片的高度,低一侧的深度是2倍的晶片的高度,这样结构的晶块筛具有生产...
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