下载改善冠状缺陷的线路结构及其制作方法的技术资料

文档序号:7522802

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本发明公开一种改善冠状缺陷的线路结构及其制作方法。此方法包括下列步骤:提供一基材,基材上形成有一电镀籽晶层以及一图案化光致抗蚀剂层,图案化光致抗蚀剂层具有一开口。形成一铜层于开口中,铜层的底部覆盖于电镀籽晶层上。形成一阻障层于铜层上,阻障层...
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