下载压力传感器及其形成方法的技术资料

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一种压力传感器及其形成方法,形成压力传感器的方法包括:提供半导体基底,在半导体基底内具有控制电路和互连结构,在半导体基底上形成有底部电极,互连结构将底部电极和控制电路电连接;形成牺牲层,覆盖底部电极;形成顶部电极,覆盖牺牲层的顶面、侧面以及...
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