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本实用新型公开了一种氧化锌薄膜沉积设备，其包含水蒸发器，DEZ蒸发器和反应腔；所述水蒸发器通过水蒸气输气管道与所述反应腔连接；所述DEZ蒸发器通过DEZ输气管道与所述反应腔连接；所述ZnO薄膜沉积设备还包含分别设置在水蒸气输气管道和DEZ输...
该专利属于理想能源设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过理想能源设备（上海）有限公司授权不得商用。

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