下载带液氮热沉的大口径低温泵的技术资料

文档序号:7377514

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本实用新型公开一种带有液氮热沉的大口径低温泵,包括低温泵真空泵壳、GM制冷机冷头、低温吸附盘阵列、百叶窗式低温挡板、热沉径向支撑块、液氮热沉、热沉轴向支撑柱和一级屏蔽板,其中,液氮进出口弹性节穿过拱顶圆封盖并与直筒体内部的液氮热沉相连通,直...
该专利属于徐敏所有,仅供学习研究参考,未经过徐敏授权不得商用。

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