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氢气传感器制造技术
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下载氢气传感器的技术资料
文档序号:7352905
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一种氢气传感器具有壳体(10),所述壳体由选择性地仅让氢气通过的、由钯构成的膜(14)封闭。该壳体被抽成真空并且包括皮拉尼压力传感器(22)。该膜(14)和皮拉尼压力传感器(22)分别固定在承载件(11、12)上。两个承载件直接彼此接合,或...
该专利属于因菲康有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过因菲康有限公司授权不得商用。
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