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本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Ｅｐｉ、Ｐｌｏｙ或ＰＥＣＶＤ化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。它具有ＰＩＤ控制器（３５）、实时检测外延炉尾气净化器的进气口（８）的负压情况的负压检测装置（３４）和控制循环泵组...
该专利属于张文光所有，仅供学习研究参考，未经过张文光授权不得商用。

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