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小阿贝误差三维测量系统技术方案
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文档序号:7331646
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本实用新型公开了一种小阿贝误差三维测量系统,其特征是:设置机械传动单元中具有X向组件、Y向组件和Z向组件,用于夹持传感器的Z向夹头固定设置在Z向组件中的Z向滑座上;设置由光栅尺和光栅头构成的各光栅组件分别是:X向光栅组件、Y向光栅组件和Z向...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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