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本发明涉及多晶硅尾气回收技术领域，具体地说是一种多晶硅生产中含有H2、HCl的还原尾气的脱吸塔换热网络的热能利用系统，其特征在于：HCl脱吸塔底部的高温氯硅烷贫液出料一路返回HCl脱吸塔内，另一路与65～75℃的水先进行换热再与吸收塔出来的...该专利属于上海优华系统集成技术有限公司;广州市优华过程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海优华系统集成技术有限公司;广州市优华过程技术有限公司授权不得商用。