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本发明提供了一种内连接PECVD腔体，它包括顺序相连的多个腔体，腔体之间采用内连接方式连接。内连接方式是，在腔体的连接端设置一个向内翻边的内连接环，两个腔体的内侧通过两个内连接环用螺栓连接，两个腔体的连接面之间用密封圈密封。本发明的内连接P...该专利属于上海太阳能科技有限公司;上海欣邦电气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海太阳能科技有限公司;上海欣邦电气有限公司授权不得商用。