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一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么力控制不平衡振动控制模块能抑制转子的同...该专利属于北京中科科仪技术发展有限责任公司;清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科仪技术发展有限责任公司;清华大学授权不得商用。