下载抗蚀剂剥离组合物和生产电气装置的方法的技术资料

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一种液体组合物,其包含:(A)至少一种极性有机溶剂,其选自在0.06-4重量%溶解氢氧化四甲铵(B)的存在下(重量%基于相应试验溶液(AB)的总重量),在50℃下对含远紫外线吸收发色团的30nm厚聚合物减反射阻挡层显示出恒定去除速率的溶剂,...
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