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一种多弧离子镀用双层复合结构钛铝靶材，为双层复合结构，其上层是钛铝靶材层，下层是铝层；所述钛铝靶材层与铝层通过铝粉热压烧结连接。本实用新型可以使靶材的铝层满足各种机械加工要求，且能通过铝层实现靶材与基座之间散热良好。...
该专利属于余鹏所有，仅供学习研究参考，未经过余鹏授权不得商用。

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