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本发明提供了一种短路缺陷测试装置，包括第一梳型结构体和第二梳型结构体；所述第一梳型结构体由若干彼此平行的第一短导电线链构成；所述第二梳型结构体由第二导电线和与第二导电线垂直、且彼此平行的若干第二短导电线链构成，所述第二短导电线链距离第一短导...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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