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提供了一种用于制造磁性存储介质的方法和设备。构形基板涂覆有磁致激活材料，通过用来自激光、e束或者聚焦离子束的能量处理部分的磁致激活材料，在所述材料中形成磁性图案。通过使束穿过分割器，可将所述束分割成细束包，所述分割器对于激光能量可以是衍射光...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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