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本实用新型公开一种柔性ITO磁控镀膜装置，包括容器体和分别设于容器体内的水冷镀膜辊、薄膜传动机构及磁控靶，薄膜传动机构包括对称设于水冷镀膜辊两侧的薄膜输入传动组件和薄膜输出传动组件，水冷镀膜辊外周分布有多个磁控靶，薄膜输入传动组件和薄膜输出...
该专利属于肇庆市科润真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过肇庆市科润真空设备有限公司授权不得商用。

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