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本发明提供一种溅射用镧靶，其维氏硬度为60以上，并且表面无宏观形貌不均匀；还提供一种溅射用镧靶的制造方法，其特征在于，将镧熔炼、铸造而制造锭，然后在300～500℃的温度下对该锭进行揉锻，之后再在300～500℃下进行镦锻而将形状调节为靶原...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。

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