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一种在工件（１２６０）上形成图案（７００）的方法包括在工件上放置图案掩模（１２１０），在图案掩模上放置孔（１００，５００，６００，１２２０），并且将所述工件放置在电磁辐射的束（１２４０）中。该孔包括三个相邻的部分。第一部分（３１０）具有第一...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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