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半导体装置以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:7146170
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半导体装置(10)包括:半导体衬底(11);内部电极(12A)以及内部电极(12B),被设置在半导体衬底(11)的表面;第一贯穿电极(17A),在厚度方向贯穿半导体衬底(11)而与内部电极(12A)电连接;以及第二贯穿电极(17B),与内部...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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