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该磁控溅射阴极包括：磁轭（１０）；具有中央磁铁部（２１）、周边磁铁部（２２）、辅助磁铁部（２３、２３ａ、２３ｂ、２５）和平行区域（Ｓ）的磁路（２０）；和背衬板（３０），配置所述中央磁铁部（２１）、所述周边磁铁部（２２）和所述辅助磁铁部（２３...
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