下载以微系统技术制成的对积垢进行测量和/或探测的微传感器的技术资料

文档序号:7127161

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本发明涉及对直接地或间接地在传感器的一所谓前表面上形成的积垢进行测量和/或探测的传感器(10;34),其特征在于,所述传感器以多个叠置层的形式包括:至少一加热元件(14),所述至少一加热元件能够按照指令扩散一受控均匀热流,所述受控均匀热流的...
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