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本发明提供一种从表面的多个重叠子孔径数据图合成物方表面的全数值孔径图的方法，包括步骤：选择减小重叠子孔径数据图的测量误差的至少一种方法；从表面的多个区域采集多个子孔径数据图，至少每个子孔径数据图的一部分与至少一个相邻子孔径数据图的一部分重叠...
该专利属于QED技术国际股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过QED技术国际股份有限公司授权不得商用。

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