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本发明涉及一种硅片多线切割断线检测的方法，利用断线检测控制系统进行检测，断线检测控制系统包括断线检测控制单元、放线信号端子、收线信号端子和检测杆。断线检测控制单元由主控计算机和数字量I/O采集卡构成。主控计算机通过数字量I/O采集卡的相应端...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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