下载压电陶瓷驱动式超微型气泵的技术资料

文档序号:7099034

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本发明涉及一种压电陶瓷驱动式超微型气泵。现有技术中的微型气泵,工作介质为气态,分为:微型负压泵,微型真空泵等,存在体积大、工作范围受限制等缺点。本发明的目的是利用压电驱动方式研制一种机电一体化的泵体超微型化的压电陶瓷驱动式超微型气泵。结构是...
该专利属于胡军;杨竹君所有,仅供学习研究参考,未经过胡军;杨竹君授权不得商用。

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