下载发光二极管磊晶结构及其制造方法的技术资料

文档序号:7098136

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一种发光二极管磊晶结构,包括一硅基板及一半导体结构层,该硅基板上形成有一图案化的介质层及阻隔层,该半导体结构层与基板之间形成有多个分离的孔隙。本发明的磊晶结构由于在半导体结构层与基板之间形成有多个孔隙,二者之间由于热膨胀系数差异而导致残留的...
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