下载单晶炉的真空压力传感器的安装结构的技术资料

文档序号:7089772

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本实用新型涉及单晶炉检测设备技术领域,特别是一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构,包括三通装置,三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管,直通主管的一端与压力检测口连接,另一端与真空探头连接,支管上具有用于与真空压力传感器连接的快拆法兰装置...
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