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一种晶圆检测系统，用于至少一个晶圆在一反应槽内与一流体进行反应时的晶圆数量检查，包括：与一晶圆承载装置连接的一升降装置，其用以控制晶圆承载装置垂直进出反应槽的一槽口；设置于反应槽上方的一光源装置；设置于反应槽上方的一影像撷取装置，用以对反应...
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