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无机纳米多孔膜及其形成方法技术
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文档序号:708862
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一种形成无机多孔膜的方法,包括: 形成无机膜材料; 在所述的无机膜材料上形成多孔自组装材料;和 使用所述的多孔自组装材料作为掩模对膜材料制作图案。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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