下载无机纳米多孔膜及其形成方法的技术资料

文档序号:708862

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一种形成无机多孔膜的方法,包括:    形成无机膜材料;    在所述的无机膜材料上形成多孔自组装材料;和    使用所述的多孔自组装材料作为掩模对膜材料制作图案。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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