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本发明涉及溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法。溅镀用旋转靶材的粘接方法包括如下步骤：(a)将背板和靶材加热至一定温度以上；(b)各在经加热的背板的外周面和靶材的内周面，涂布粉末状铟并熔融的同时，利用刷子或超声波表面...
该专利属于TCB韩国公司所有，仅供学习研究参考，未经过TCB韩国公司授权不得商用。

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