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本发明公开了一种单晶炉技术领域的单晶炉隔离系统，包括：密封构件、阀板组件、控制开阀装置和压紧装置，控制开阀装置和压紧装置均与阀体固定连接，阀板组件与控制开阀装置活动连接，密封构件设置于阀体内且与阀体固定连接，本发明通过开阀气缸控制，使阀板组...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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