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本发明通过有效地降低回收氦气的杂质含有率，从而提供能以低成本将氦气纯化至高纯度的方法和装置。对至少含有氢、一氧化碳、来源于空气的氮和氧作为杂质的氦气进行纯化时，使氦气中的氧、氢和一氧化碳反应，使氧残留而生成二氧化碳和水。接着，通过添加氢使氢...
该专利属于住友精化株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友精化株式会社授权不得商用。

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