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均压腔气浮止推轴承制造技术
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下载均压腔气浮止推轴承的技术资料
文档序号:6990052
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本发明涉及一种气浮轴承,尤其涉及一种均压腔气浮止推轴承。这种均压腔气浮止推轴承,包括至少一个气浮滑块,每个气浮滑块的支撑面上至少开设有一个棱锥均压腔,所述支撑面与基座相对,所述棱锥均压腔的锥底面与所述支撑面齐平,所述棱锥均压腔的顶点处设有一...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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