下载薄膜磁电阻传感元件、多个传感元件的组合及与该组合耦合的电子装置的技术资料

文档序号:6976400

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本实用新型涉及一种薄膜磁电阻传感元件,用来检测垂直于其所沉积的基片平面的磁场分量,该传感元件包括自由层、参考层、位于自由层和参考层之间的隔离层,自由层材料固有的易轴被设置成垂直于其所沉积的基片平面,参考层中的磁化方向限制为平行于基片平面的方...
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