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在包括零件定位装置和具有聚焦台和多个不变的第一级特性参数的波前测量仪表的计量系统中，一种用于确定波前测量仪表的第一级光学参数和用等式描述的图像共轭的方法，该方法包括以下步骤：a)确定“ob_ref”，其是在所述仪表内从物方参考点到第一主面的...
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